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led照明公司技术是随着半导体和微电子技术的发展丽发展起来的一项新兴的细微加工技术,加工尺寸从毫米到微米数量级,甚至亚微米的微小尺寸:其加T艺主要分为表面工艺和体工艺。基于硅基的体工艺又称为体硅工艺,体硅工艺呵以在硅基体上形成高深宽比的凹稽。由于MEMS的加工尺…[阅读全文]
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